مخفف

مرجع کلمات و اصطلاحات اختصاری

مخفف CVD

Chemical Vapor Deposition

انباشت به روش تبخیر شیمیایی یا رسوب شیمیایی فاز بخار (CVD) یکی از روش‌های شیمیایی ست که در تولید لایه‌های بسیار خالص میکروبلورین در فناوری نیم رساناها به کار می‌رود.

غالباً انباشت روی زیر لایه‌ای از ماده مشابه (مانند سیلیسیم روی سیلیسم)انجام می‌شود. این انباشت ممکن است از طریق چند نوع واکنش شیمیایی انجام شود: گرماکافت که در آن از دمای زیاد برای تجزیه ماده استفاده می‌شود. نورکافت که در آن از نور فرابنفش یا فروسرخ برای تجزیه ترکیب‌های گازی استفاده می‌شود.
CVD
ارسال نظر

ارسال نظر